Тематичні напрямки журналу.

- фізика поверхні – модифікації, покриття, плівки, приповерхні і перехідні шари різних видів, як результат впливу плазми, корпускулярно-фотонних потоків і випромінювання;

- взаємодія різноманітних видів випромінювання з поверхнями металів, напівпровідників, діелектриків;

- фізика і техніка низькотемпературної плазми;

- фізика і техніка лазерів;

- фізичні властивості плівок і покриттів;

- нанофізика, мікро- і нанотехнології, мікро- і наноелектроніка;

- фізичні та технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностики і контролю технологічних процесів.

Фахове видання з технічних наук та з фізико-математичних наук – за поданням.

Періодичність видання – 4 рази на рік (щоквартально).