Камеры, оснащенные безмаслянными системами откачивания >> ХНУ имени В. Н. Каразина

Камеры, оснащенные безмаслянными системами откачивания

Для препарирования образцов и напыления технологических слоев используются различные вакуумные камеры, оснащенные безмасляными системами откачки. Для напыления тугоплавких материалов (W, C, Mo и др) используется электронно-лучевое напыление. Контроль толщины напыленных слоев осуществляется in situ с помощью кварцевого резонатора. Стабильность характеристик осажденных пленок обеспечивается цифровой системой управления.

Ответственное лицо: Дукаров Сергей Валентинович, Богатыренко Сергей Иванович